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极大规模集成电路含氟电子气体实现国产化 年产量可达2000吨

发布时间:2022-08-15 06:55:16 来源:爱游戏官方地址是多少 作者:爱游戏官方直播
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内容摘要:  8月14日,国务院国资委官网发布消息,由中国化工黎明化工研究设计院承担的国家科技重大专项项目“高纯四氟化碳和六氟化硫研发与中试”通过国家重大专项项目组测试与评审,标志着我国极大规模集成电路行业所需

  8月14日,国务院国资委官网发布消息,由中国化工黎明化工研究设计院承担的国家科技重大专项项目“高纯四氟化碳和六氟化硫研发与中试”通过国家重大专项项目组测试与评审,标志着我国极大规模集成电路行业所需高纯度含氟电子气体实现国产化。目前,黎明院高纯四氟化碳和六氟化硫的年产能可达2000吨,可完全实现对进口产品的替代。

  集成电路是信息社会的根基。高纯度含氟电子气体是极大规模集成电路行业必需的清洗和蚀刻气体,在芯片制作过程中保障极大规模集成电路的生成,确保电路有效发挥作用。随着极大规模集成电路技术的提升,芯片制程向14纳米甚至7纳米迈进,对电子气体的纯度要求越来越高。

  南大光电:通过控股山东飞源气体有限公司切入氟系电子特气市场,后者含氟电子气体已向国际领先企业批量供货,并已完成多种关键含氟电子材料的产业化准备;

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